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晶圓AOI

發布時間:2017-06-26  瀏覽次數:1183 次  來源:科毅科技股份有限公司

設備用途說明
該設備專門用于晶圓級先進封裝中8英寸、12英寸晶圓表面缺陷的檢查與測量、凸點的測量、芯片或晶圓上凸點共面性的測量、TSV通孔直徑及深度測量、PR/PI等透光薄膜厚度的測量以及測量數據分析。
設備基本功能
1.具備晶圓自動上下料及自動檢測功能;
2.具備2D、3D檢測功能,能夠實現表面缺陷的檢查與測量、凸點的測量、芯片或晶圓上凸點共面性的測量、TSV通孔直徑及
深度測量、PR/PI等透光薄膜厚度的測量;
3.具備自動定位能力,自動識別wafer上的對位點;
4.可自動識別WAFER ID,并能在操作界面顯示;
5.具備FOUP、Cassette ID讀取功能(能夠讀取FOUP,Cassette上的條形碼)及程序讀取功能,并實時顯示在人機界面上;
6.具備按照不同缺陷類型形成MAP的功能;具備各種格式MAP的導入、更新以及創建,對不能識別的格式提供免費更新服務 ;
7.具備MAP疊加功能,可將本次檢測結果疊加到導入的MAP圖上,形成新的缺陷分布MAP;
8.可自動在線對缺陷進行檢測和分類,也可離線后對檢測缺陷進行檢查和分類;
9.自動調整光強;具備直射光、環形光路系統,能夠自動進行切換;
10.具備計算單個芯片上凸點共面性、整片晶圓上凸點共面性的能力;
11.可繪制整片晶圓上每個凸點高度趨勢圖或單個芯片上高度趨勢圖以及整片晶圓上每個凸點直徑趨勢圖或單個點直徑趨勢圖
12.具備軟件對使用者權限分級控制功能,壹般分為工程師、技術員及操作員
13.具備手動加工模式,方便工藝實驗和生產過程中的異;謴;
14.具備全自動加工模式,而且全自動加工模式與手動加工模式能夠方便切換;
15.配備去離子風扇,具備自動去靜電功能;
16.具備SPC過程控制分析功能;
17. SECS/GEM需要支持半導體設備標準通信SECS/GEM協議;
18.配備基于IPC控制系統Tcp/ip連接服務器,上傳下載數據

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